部件都是有编号的，必须要按次序安装，而且这其中一颗螺丝的安装需要多大的力度，每一块镜片的偏差度多少，都是有严格标注的，另外光是底座的找平，就花费了整整一个上午的时间。

其实这个年代的光刻机远不如后世的光刻机那么复杂，2000年之后的阿斯麦光刻机，至少都是在10万个零部件左右，而现如今只有不到1万多个零部件，和汽车差不多相仿，然而组装的难度却依旧不小。