受到损伤，通过仪器的测试之后，也让两名荷兰工程师松了一口气。 然而把这些机器送入无尘车间并不是一件简单的事情，为了避免灰尘的带入，所有零部件在进入车间之前，还要经过一系列的除尘处理，这才能进入车间。 另外和普通机器不同的是，阿斯麦的光刻机他是有一个完备的安装手册的，手册多达上百页，大部分都是一些安装数据参数，所有零