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一微米制程的阿斯麦光刻机，完全称得上是当今世界上最先进的光刻机，他们用的还是德国蔡司镜头，从参数上来看，分辨率可以达到065微米左右，这应该是世界上最强的光学镜头。

虽然日本的尼康光刻机占据了国际市场的80的份额，但实际上尼康的光学镜头分辨率要稍逊一筹，在07微米左右虽然只相差005微米的分辨率，但这种差距实际上并不容