批次间一致性测试,要做晶圆厂兼容性验证,必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试。 如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。 “芯材走在了正确的路上。” 这是来自晶圆制造联盟的评价。 可惜,眼下的局面略显急迫。 阿美严选