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从2012年到2015年的现在，芯材专注于ArF光刻胶的研究，进度上嘛，还算可以，多次进行了小规模试验，调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。

只是，这种提升还达不到理想的状态，等到走出实验室，扩大到中试规模，工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。

这便没法大脚步的再往下走，况且，后面也有不少关隘，要搞长时间存储稳定性和