温良又问:“目前已经投入的资源主要集中在哪个具体方向?” 立夏一一回答:“基于现有国产晶圆制造设备比如光刻机的部分模块的深度优化研究,以及几个关键材料的研究。” “执行方案前,有经过相关专家的多方面深入分析。” 另一侧坐着的李泽也提出问题:“如果我们对所有薄弱环节进行研发资源投入,第一期投资产出实验室级产品的几率是多少?毕竟资料显示ASML在前期投入海量资源完成了EU