样机，并通过电子部技术鉴定，认为达到了美国同类产品水平，而当时采用的是纳米线光源。

这也就意味着年的时候，中国在高科技领域与国外的差距拉近到了年左右，也就是达到了美国年的水平。

可以看出国产光刻机。研发在上世纪年代后期起不直到年代，后期技术一直在推进，并且取得了一定的代表性成果。

然而到了年代中后期，中国却因为技术封锁以及买办思想盛行，造成了光刻机的落后。