事情: 第一件事情,牵头多方择址即刻建设一个高于一万平的超级无尘工作室; 第二件事,各单位分出一部分人员,共同进行EUV光刻机初代原型研究。 第一件事大家求之不得。 第二件事职责所在。 至少今天与会的各个单位都承接了部分02专项的课题。 而02专项的全称是极大规模集成电路制造技术及成套工艺: 原本要求在11·5期间实现90纳米制