刻机。 但是这没太大用处,填补一下国内空白可以,但是和国外比还是差距很大。 而江宇提出的湿式光刻法虽然研究出了理论,也获得了专利。 但离做成可投入商用的光刻机,还需要几年。 徐家树也不好说这个时间需要多少,也许三年五年,也许十年八年。 不过芯片方面,杨成邦的队伍取得的成绩可不小。 最近他们用市场上能买到了本子国光刻机,流片193纳米芯片成