徐家树杨成邦是这个研究所的一二把手。

江宇资助这个集体已经快十年了，投入的资金也有好几个亿了，加上今年一次性投入的五个亿，累积投入资金超过10亿元。

这些投入还不足以换回回报，估计还得需要几年的时间。

到二零零五的时候就应该出成果了。

徐家树带着穿得像太空人一样的江宇视察了光刻机研究车间。

传统的干式光刻机，他们已经能做出生产三百多纳米的光