太高。 毕竟各个主要环节现在就有不同单位、公司在做。 按照国内产业链现有技术储备,能用的问题早就解决了,现在是进行更先进制程的相关关键技术研究。 从之前一次的梳理来看,博浪很快能从上游走到中游的芯片生产制造。 因为ArF浸没式DUV光刻生产工艺的配套技术能覆盖从7n~130n这个范畴。 国内产业链的技术水准大概90n~180n这个范畴,而通过光刻工