。 可行! 要知道,他家没几步路,从科院离职后,置了套宅子,就在中关村。 他们在研发第四代光刻机时,对于怎么样来突破三代光刻机的桎梏,一筹莫展之际,是建昆提醒:尝试使用一下193nmArF激光光源。 三代光刻机的最小工艺极限是130nm。 坦率讲,陈春仙怀疑过,他可能是外星人……