那么,老陈说这是全世界第一台第四代光刻机,大抵上没毛病。 直到第五代EUV光刻机的问世。 不在技术上有革命性的创新,无法突破。 在前世,它统治这个领域的时间接近三十年。 反之,如果没有这道灵光乍现,一个小小的问题,或将困住一个科学家一生。 “华夏硅谷公司没启动光刻机项目之前,我国的光刻