对何振华来说，解决一微米制程的需求，远比铜导线要急迫的多，在车上，何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。

这些专业的问题，徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。

“高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米，i线365纳米，最理想的状态肯定是滤除g线，只保留i线，事实上i线占比太小，我们没办法得到足够功率的i线光源……”

研究光刻机的都知道，波长越短的光线，分辨率越高