第一次进入清大光刻机车间,赵国庆有些激动,直接直奔主题,几个关键技术。
“何教授,你们这光刻机用的什么光源”
“你还真懂光刻机啊!”
赵国庆笑了笑:“书上有介绍!”
何振华说:“用的高压汞灯光源,436纳米的蓝光汞g线,这类高压汞灯光源目前已经达到国际先进水平!”
好吧,国际先进水平,国际上十年前都已经开始研究波长更短的紫光激光电源了。
第049章 捅破一层窗户纸(1 / 13)
第一次进入清大光刻机车间,赵国庆有些激动,直接直奔主题,几个关键技术。
“何教授,你们这光刻机用的什么光源”
“你还真懂光刻机啊!”
赵国庆笑了笑:“书上有介绍!”
何振华说:“用的高压汞灯光源,436纳米的蓝光汞g线,这类高压汞灯光源目前已经达到国际先进水平!”
好吧,国际先进水平,国际上十年前都已经开始研究波长更短的紫光激光电源了。