东西都有难度，ArF光刻胶在EVU方案还没落地商用的情况下就是最高端的精密化学材料，国内这方面的厂商目前都没什么苗头。

芯材是2012年成立，彼时也费了不少功夫，这个环节的公司们本身存在竞争关系，联合研发存在着利益分配的问题。

张汝京这一趟来之前问了问相关情况，从负责晶圆制造联盟工作的秘书长那边得知，当时是冰芯态度有一点点强硬的推动了这个合作。