管……”

随后，响起了光学模组矫正归位的“咔咔”声。

“一、二、三、四、五……至少有五组光学镜足，每组镜组应该至少有两枚镜片，镜片排列应该是尽可能追求对称的光路……”

接下来听到的声音，就是托着晶圆的托盘电机在工作的声音了，光源和镜头模组的声音，反倒是稳定了下来。

范红才支起来身，他这时才感觉到自己的老腰有些酸疼。

他没有着急下判断，而是等着光刻机