了愣。

EUV光刻机？

这不是极紫外线光刻机吗？

当芯片工艺进入到7n后，就需要一种EUV光刻机，也称之为极紫外线光刻机。

在前世也只有仅有荷兰的ASML能够生产。

不过，前世ASML的产能有限，前世2015年交付第一台EUV光刻机以来，截止至2020年底，一共才交付了100台，而2021年上半年一共交付16台，也就意味着到目前一共才交付了116台