“哦,李董您说是惯性s传感器。我以前也略有研究,这个惯性s传感器的市场前景非常广泛。而高精度的s惯性传感器将来可用于工业、国防和航空航天领域的倾角、加速度和振动测量……” 让李晓凡没想到的是陈大同博士对s这个领域很有研究,介绍起来如数家珍。 “李董,其实adi公司在年就研发出这个微型加速度计s传感器产品了。前年德国博世bosh公司发明了硅高深宽比加工的深度反应离子刻蚀工艺,成