持水平，减少外界震动干扰，并维持稳定的温度、压力。

第二天，测量台、曝光台被他弄下来了，这两个称之为双工作台系统，承载硅片的工作台。

……

第七天，能量控制系统也被他拆下来了，这个玩意控制最终照射到硅片上的能量，直接影响到芯片质量。

整整七天的时间，陈诺将这台价值5亿元的光刻机拆成了十二个子系统。

他对整个光刻机的组成部分了然于心，零部件啥的他可没