第七十一章 晶圆生产(5 / 20)

常”

“机电热场部件正常”

“气体装置正常……”

员工每报一项,苗向华就在生产前的作业准备检查单上打勾。

等各项检查都正常,没有出现问题后,他指示将像冰块一样的多晶硅料做投料准备、抽取真空、氩气填充等生产步骤。

运行的单晶炉石墨加热器开始加温,加热功率从30千瓦升温开始,每半个小时增加30千瓦功率,两个半小时后功率便加到120多千瓦。