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和后世那种纳米级别的芯片掩膜板不同的是，80年代的微米级别的芯片掩模板制作难度并不算大。

第1代掩模板是出现在20世纪50年代，是手工刻红膜，现在已经被淘汰。

第2代掩模板是菲琳掩膜版，诞生于20世纪60年代，现如今仍在部分行业小范围使用，比如pcb，fpc等行业。

而现如今芯片企业普遍使用的是第5代掩模板，分为苏打掩模板和石英掩模板，诞生于20世纪7