由于光刻机系统是由数十万个零部件组成的,体积相当大。 当初运输过来的时候,足足装了十八个集中箱,大型集中箱呦。 据后来陆辉告诉李天宇,光刻机系统是分了两批运过来的,那阵势相当浩大壮观。 别惊讶,这还算少的。 阿斯麦的光刻机系统据说是由十余万个零部件组成的,装成大型集中箱的话,要四十个! 没错,你没听错,就是四十个大型集中箱。 由于