早在年前基金给的500亿投资款即时到账后,前沿就分出来多达76亿的资金款来筹备生产白泽半导体一二期所需要的DUV光刻机。 根据相关规划,为了实现年产百万片12寸晶圆,需要38台光刻机。 这还是在当时预计清华能解决‘工件台系统’稳定性的可能下。 好在,去年海量资金的投入和基金投资及时到来,总算是搞定了所有核心部件。 前沿向上微电的委托订单,根本就没有因