究所，比如长光所等。

还包括哈工大前沿院的十几个交叉研究中心。

其次，前沿出面，面向海外收购相关企业、技术、专利授权形成第二道技术链。

包括光源制造、电子束测量、光学镜头等等等等。

当然，其中DUV光刻也会有一定量的技术受益。

EUV面向未来，DUV面向当下。

梼杌负责all in EUV，DUV由白泽负责用‘小鞭子’来推动原本就有的单位