个进入10纳米大关的。 光刻机的分辨率最重要的部分就是紫色光源,而极紫外光的波长为10-15纳米,分辨率低于十纳米,就意味着不够极紫外光的一个波长,在技术上需要有翻天覆地的创新才行,而这个技术目前只有猎鹰国掌握。 虽然不能通过分辨率为10纳米的光刻机进化为低于10纳米分辨率的光刻机,但让龙国的分辨率直接从30纳米跳到10纳米,这中间不知道节约了多少人力和无力,当然还有更重要的时