是没看到威来光刻机长什么样。

这样看来，他们能在威来的专利制约下把光刻机造出来，确实有两下子。

但是没什么卵用。

威来的深紫外线光科机已经造出来很多年了。鹝

现在正在全力研发极紫外线光刻机。

而且基本已经算是研发成功了，明年就可以试验调试，到2015年基本就可以交付使用。

与深紫外线光刻机相比，极紫外线光刻机明显高了一个档次，不但光刻速度