将光眼膜上的图形刻印在硅片上,再通过显影过程将硅片表面的光刻胶进行化学反应,从而形成微小结构。
至于这台光刻机校对不准的原因,主要有三。
对准系统有些偏差。
减震器出现裂纹。
紫外光源分布的并不是那么均匀。
夏黎很怀疑,这台看起来破破旧旧外观却完整的光刻机,之所以会被送来,是因为被换了芯子
第2111章(2 / 9)
将光眼膜上的图形刻印在硅片上,再通过显影过程将硅片表面的光刻胶进行化学反应,从而形成微小结构。
至于这台光刻机校对不准的原因,主要有三。
对准系统有些偏差。
减震器出现裂纹。
紫外光源分布的并不是那么均匀。
夏黎很怀疑,这台看起来破破旧旧外观却完整的光刻机,之所以会被送来,是因为被换了芯子